Ceramic Supporting Pin rau Semiconductor Process Fixtures
Cov koob txhawb nqa ceramic ntawm St.Cera (tseem hu ua cov koob txhawb nqa lossis cov koob txhawb nqa) yog siv rau hauv cov chav ua haujlwm semiconductor los tsa cov wafers lossis cov substrates thaum tuav, cua sov, lossis txias. Ua los ntawm 99.8% alumina lossis silicon nitride, cov koob no muaj lub zog compressive siab, thermal stability, thiab tshuaj lom neeg tsis kam. Tus qauv hemispherical lossis lub taub hau tiaj tiaj tiv thaiv wafer khawb.
Cov Lus Qhia Tshwj Xeeb(Alumina 99.8%):
| Vaj tse | Tus nqi |
| Khoom siv | 99.8% Al₂O₃ los yog Si₃N₄ |
| Ntev | 10 – 100 hli |
| Txoj kab uas hla | 1 – 10 hli |
| Lub taub hau zoo li cas | Tiaj tiaj, hemispherical, taw tes |
| Lub zog nias (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Qhov Kub Ua Haujlwm Siab Tshaj (Al₂O₃) | 1600°C |
| Qhov Chaw Tiav | Lapped (Ra ≤0.4 μm) |
| Kev kam rau ntawm txoj kab uas hla | ±0.01 hli |
Cov ntawv thov:
Nqa cov pins hauv CVD / PVD chambers
Cov pins txhawb nqa rau cov tais diav kub
Cov qauv txhawb nqa daim npav soj ntsuam
Quartz cub tawg nkoj txhawb nqa
Kev Tsim Khoom:
Kev sib tsoo tsis muaj chaw nruab nrab ntawm OD → kev sib tsoo pob zeb diamond ntawm qhov profile taub → kev ntxuav ultrasonic → kev tshuaj xyuas 100% qhov ntev.
Kev Tswj Xyuas Zoo:
CMM rau qhov ntev/txoj kab uas hla, optical comparator rau lub vojvoog ntawm lub taub hau, load testing los xyuas kom meej lub zog compressive (random qauv ib pawg). Tsis muaj ferromagnetic contamination (tau txheeb xyuas nrog magnet).
Cov txiaj ntsig zoo dua li Hlau lossis Quartz Pins:
5 zaug ntev dua li cov hlau tsis xeb
Tsis muaj hlau ua qias tuaj hauv chav ua haujlwm
Muaj peev xwm kub dua li quartz (1600 ° C vs 1100 ° C)
Qhov chaw tsis lo (txo cov khoom lo rau)
Kev Kho Kom Haum:
Ntau lub taub hau profile, lub hauv paus threaded, lossis lub ncej tapered.
Peb kuj muab SiC pins rau cov chaw muaj plasma heev.
